为了进行洁净度高的洁净室的照明设计,首先要介绍洁净车间的洁净度和洁净的气流模式。在新的《洁净厂房设计规范》GB50073-2001中,对空气洁净度等级的规定进行了很多修改。GBJ73-84规定,空气洁净度分为100、1000和10000100,000四个等级,随着微电子和集成电路产业的飞速发展,洁净室对空气洁净度的要求越来越高,需要将粉尘颗粒的粒径控制在0.1μm以下。
为了与国际标准保持一致,均采用了新规范。国际标准ISO14644-1的相关规定将空气清洁度级别从4级提高到9级,即1级和2级···9级
规格中也明确规定了清洁空气的流动方式选择。“对于空气清洁度等级为1至4,应使用垂直单向流;当要求空气清洁度等级为5时,应使用垂直流。单向流或水平单向流;在6至9级时,应使用非单向流”。
所谓气流方式,就是合理设计室内洁净空气的流动方式和分布。其特点:应考虑避免或减少涡流,有利于迅速有效地去除污染物,并应试图限制和减少室内污染源散发的粉尘和细菌的扩散,并保持空气清洁室内生产环境要求的级别。
由于无尘室的特殊性,一般洁净灯照明灯具的选择应使用光滑的外观,并且不平坦的表面应充满灰尘,灰尘易于清洁,并且由不适合产生静电的材料制成。除了满足照度要求外,还应根据室内空气流动模式考虑灯具的选择和布置。当天花板是垂直的单向送风口时,例如:大型集成电路厂的光刻车间,其高效过滤器出风口的面积有时可以达到天花板面积的80%左右,这是在灯的布局上造成困难。
此时,选择泪珠型荧光灯是合适的。该灯对气流的影响很小,可以安装在专用铝制成的高效过滤器中。型材框架的下侧不妨碍空气供应,并有效利用了仅天花板空间。根据不同的天花板模块,可以选择不同长度的灯。